பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், சிப் உற்பத்தி செயல்முறை மேலும் மேலும் சிக்கலானதாகி வருகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி பொருட்களின் அசாதாரண நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் கலவை சிப் விளைச்சலை மேம்படுத்துவதைத் தடுக்கிறது, இது புதிய குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்று தொழில்நுட்பங்களை செயல்படுத்துவதில் பெரும் சவால்களைக் கொண்டுவருகிறது.
GRGTEST, வாடிக்கையாளர்கள் குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்று செயல்முறைகளை மேம்படுத்த உதவும் விரிவான குறைக்கடத்தி பொருள் நுண் கட்டமைப்பு பகுப்பாய்வு மற்றும் மதிப்பீட்டை வழங்குகிறது, இதில் வேஃபர் நிலை சுயவிவரம் மற்றும் மின்னணு பகுப்பாய்வு தயாரித்தல், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி தொடர்பான பொருட்களின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளின் விரிவான பகுப்பாய்வு, குறைக்கடத்தி பொருள் மாசுபடுத்தி பகுப்பாய்வு திட்டத்தை உருவாக்குதல் மற்றும் செயல்படுத்துதல் ஆகியவை அடங்கும்.
குறைக்கடத்தி பொருட்கள், கரிம சிறிய மூலக்கூறு பொருட்கள், பாலிமர் பொருட்கள், கரிம/கனிம கலப்பின பொருட்கள், கனிம உலோகமற்ற பொருட்கள்
1. சிப் வேஃபர் நிலை சுயவிவர தயாரிப்பு மற்றும் மின்னணு பகுப்பாய்வு, கவனம் செலுத்தப்பட்ட அயன் கற்றை தொழில்நுட்பம் (DB-FIB), சிப்பின் உள்ளூர் பகுதியை துல்லியமாக வெட்டுதல் மற்றும் நிகழ்நேர மின்னணு இமேஜிங் ஆகியவற்றின் அடிப்படையில், சிப் சுயவிவர அமைப்பு, கலவை மற்றும் பிற முக்கியமான செயல்முறை தகவல்களைப் பெறலாம்;
2. கரிம பாலிமர் பொருட்கள், சிறிய மூலக்கூறு பொருட்கள், கனிம உலோகமற்ற பொருட்களின் கலவை பகுப்பாய்வு, மூலக்கூறு கட்டமைப்பு பகுப்பாய்வு, முதலியன உட்பட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பொருட்களின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளின் விரிவான பகுப்பாய்வு;
3. குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கான மாசு பகுப்பாய்வு திட்டத்தை உருவாக்குதல் மற்றும் செயல்படுத்துதல். இது வாடிக்கையாளர்கள் மாசுபடுத்திகளின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளை முழுமையாகப் புரிந்துகொள்ள உதவும், இதில் அடங்கும்: வேதியியல் கலவை பகுப்பாய்வு, கூறு உள்ளடக்க பகுப்பாய்வு, மூலக்கூறு கட்டமைப்பு பகுப்பாய்வு மற்றும் பிற இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள் பகுப்பாய்வு.
சேவைவகை | சேவைபொருட்கள் |
குறைக்கடத்தி பொருட்களின் தனிம கலவை பகுப்பாய்வு | l EDS அடிப்படை பகுப்பாய்வு, l எக்ஸ்-ரே ஃபோட்டோ எலக்ட்ரான் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி (XPS) தனிம பகுப்பாய்வு |
குறைக்கடத்தி பொருட்களின் மூலக்கூறு கட்டமைப்பு பகுப்பாய்வு | l FT-IR அகச்சிவப்பு நிறமாலை பகுப்பாய்வு, l எக்ஸ்-கதிர் விளிம்பு விளைவு (XRD) நிறமாலை பகுப்பாய்வு, l அணு காந்த அதிர்வு பாப் பகுப்பாய்வு (H1NMR, C13NMR) |
குறைக்கடத்தி பொருட்களின் நுண் கட்டமைப்பு பகுப்பாய்வு | l இரட்டை குவிய அயன் கற்றை (DBFIB) துண்டு பகுப்பாய்வு, l புல உமிழ்வு ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி (FESEM) நுண்ணிய உருவ அமைப்பை அளவிடவும் அவதானிக்கவும் பயன்படுத்தப்பட்டது, l மேற்பரப்பு உருவவியல் கண்காணிப்புக்கான அணுசக்தி நுண்ணோக்கி (AFM) |